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光緒16年(1890年)全國各省執行《清會典圖》，山西巡撫成立臨時測繪機構，歷時三年多完成了《山西省全圖》1幅、府圖9幅、州圖10幅，並附以圖說及橫表，裝訂成冊，於光緒22年(1896年)呈送中央的「會典館」。清宣統元年(1909年)，「山西陸軍測量隊」成立，這是山西最早運用近代測量技術的機構；成立當年首次測繪了太原市 1/20,000地形圖。
民國元年3月，在山西陸軍測量隊的基礎上組建了「山西陸軍測量局」，下設三角、地形、製圖三科。民國20年，更名為「山西測量處」；民國21年，再改制為「山西測量器材保管管所」；民國25年，再整編為「晉綏軍臨時修圖處」；民國26年，再縮編為「第二戰區司令長官部後方辦事處修圖組」(駐聞喜縣)；民國31年4月，改為「太原綏靖公署修圖組」(駐陝西宜川縣桑柏鎮)；民國35年3月，再改回「第二戰區司令長官部後方辦事處修圖組」(駐太原)，直到民國38年4月被中共接收。
山西陸軍測量局在建立初期運用清《皇輿全圖》為基礎，進行1/100,000地形圖之調查編繪工作，計有168幅。民國25年至38年，晉綏軍臨時修圖處依據已有的1/100,000調查圖及1/500,000新圖(民國15〜20年公路測量，編繪中國輿圖_江西省)，共完成全省1/100,000地形圖169幅。民國3年至18年，山西陸軍測量局速測全省1/50,000地形圖(46x36cm矩形圖廓)448幅，清繪原圖，印製成圖。民國20年起，陸地測量總局律定新圖廓(經差15’x緯差10’)的1/50,000地形圖之測製，山西省新圖廓圖規劃幅數為385幅，唯至民國38年均未實測之。
抗戰期間，日軍北支那方面軍參謀部將劫獲的江西舊版1/50,000地形圖448幅，予以縮編成1/100,000圖，稱《縮製1/100,000圖》*1；日軍陸地測量部將舊版1/100,000調查圖予以翻印，稱《假製1/100,000圖》*2，另印製《十萬分一中國地圖》*3，係翻印自1/100,000民國圖(加繪有方格網)。
山西省各階段測繪機構完成之地圖，在廣惠專案中檢整出之成果，參閱表1暨各尺度圖產品舉例。
註釋：
1.廣惠專案中檢整出日製《民國圖縮製十萬分一圖》，江西省圖計有200幅(114、9、77等三筆)。《山西通志_測繪志》載，51幅。江西省十萬圖應該是168幅，前者統計可能有重複，後者應該是資料有短缺。國防部測量局於民國36年將此圖組複印參用。
2.廣惠專案中檢整出日製《假製十萬分一圖_仮製北支那十万分一圖》，無江西省圖。
2.廣惠專案中檢整出日製《十萬分一中國地圖_北支那十萬分一圖》，江西省圖計有90幅(25、18、25、22等四筆)
參考文獻：
1.《中國測繪史》編輯委員會，《中國測繪史》第二卷，測繪出版社，北京市：2002。
2.山西省史志研究院编，《山西通志_測繪志》(第二十四卷)，中華書局，北京市：1999。
表1 山西測繪機構歷史地圖廣惠專案檢整清單
《山西全省輿圖》 同治5年(1866年)元月成圖 沈桂芬繪製 94.0x49.7cm
[本幅採「計里畫方」表示比例尺，每方代表實地百里。圖內山脈走向以形象寫真法表現，對山西省境內長城繪画完整。圖之方位，左北右南。行政區劃以色區表現，並於圖下方註記9府10直隸州85縣6州名，暨直屬官署距離。沈桂芬，時任山西巡撫(同治2〜6年)，本幅當是他任內主持完成繪製的作品。]
1/25,000《雁門關附近》_雁門關 民國元年測圖，2年印製 山西陸軍測量局 52.0x42.0cm
1/50,000地形圖中國大陸_山西省_山陰縣 民國16年測圖，23年製印 (山西陸軍測量局 )，參謀本部陸地測量總局 46x36cm圖框
[按《山西通志_測繪志》載，山西陸軍測量局於民國3年至18年，實測繪製全省1/50,000地形圖448幅。]
1/50,000《山西省陸測圖》_山陰縣 民國16年測圖，昭和16年(1941年)複製 (山西陸軍測量局)，北支那方面軍參謀部 46x36cm圖框
[其係日軍將劫獲的江西舊1/50,000圖，予以複製；圖內繪有方格網。研判此圖與上幅是同源。]
《山西五萬分一地形圖》_山陰縣(映繪圖) 民國16年測圖，31年複製 (山西陸軍測量局)，軍委會軍令部陸地測量總局 58.3x 45.5cm (圖紙大小)
[此圖組係舊版依民國24年「修正圖式」改繪。]
《五萬分一山西省地形圖》_山陰縣 民國16年測圖，36年複製 (山西陸軍測量局)，國防部測量局
[本圖組係飛遠專案圖資。與上幅同源，僅改變印製單位。]
《十萬分一山西省地形圖》_太原縣 民國24年印刷 參謀本部陸地測量總局
[本圖組係飛遠專案圖資，同山西陸軍測量局1/100,000調查圖，計有168幅。]
《山西十萬分一地形圖》_太原縣(映繪圖) 民國25年製印 參謀本部陸地測量總局 53.9x39.7cm(圖紙大小)
[民國25年至38年，晉綏軍臨時修圖處依據已有的1/100,000調查圖(前圖組)及1/50,000新圖(民國15〜20年繪製)，繪印山西省1/100,000地形圖，計169幅。就太原縣城，對照24年版，略有差異。]
1/100,000《山西省地形圖》_太原縣 民國25年製印 參謀本部陸地測量總局
[係上圖組之紙本，唯圖右之圖組名有別。]
日製《北支那十萬分一圖_12太原》_太原縣 昭和8年(1933年)陸地測量部製版，參謀本部發行 30’x20’
[本圖組係日軍翻印自1/100,000民國圖。此圖之原圖係民國16年製圖局製印，日軍加印經度2’x緯度3’方格網，以利地點報導。係經緯分幅，與舊十萬圖圖幅(矩形分幅)範圍不同。]
《民國圖縮製十萬分一圖_縮製山西省十萬分一圖》 昭和13調製、18年複製 日軍北支那方面軍參謀部 56.8x44.6cm
[本圖組係日軍將劫獲的江西舊版1/50,000圖，予以縮編成1/100,000圖，稱《縮製1/100,000圖》；圖內繪有方格網，其基準與前圖組不同。]/p>
《十萬分一地形圖》_太原縣(接收日製圖) 民國19年製印，36年複製 (山西陸軍測量局)，國防部測量局 30’x20’
[本圖組係翻印自日軍1/100,000地形圖。本圖與前幅運用16年版，係不同版次，而相關圖資表現無異，應該也是在民國22年翻印。]
1/100,000《晉冀魯豫地區》_太原縣 民國19年製版，36年複製，40年翻印 (font color="#FF0000">山西陸軍測量局)，國防部測量局，聯勤測量處 30’x20’
[同樣是運用《接收日製圖_十萬分一地形圖》複印而來。]
1/300,000《魯冀晉陜甘聯界》_太原(陽曲) 民國22年編繪，24年製印 參謀本部陸地測量總局 1°30’x45’
[《三十萬分一省區聯界圖》係於民國20至30年代間運用1/50,000實測地形圖與1/100,000勘測調查圖為基本資料縮編，並以當時蒐集的現勢資料加以修正補充繪製而成，採單色印刷。《魯冀晉陜甘聯界》全72幅。]
1/800,000《山西詳圖》 (民國15年) ** 63.5x 83.0cm
[民國9年江西省下設有冀寧道、雁門道、河東道等，民國16年廢。圖內繪有30’x30’方格網。山脈以暈翁表現。]
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